• 高純氣體輸送/使用環節壓力、液位與流量監測解決方案-麥克傳感器股份有限公司
    高純氣體輸送/使用環節監測

    應用概述

    高純氣體從存儲,輸送,分配到使用,都離不開壓力監測。麥克傳感器研制生產的壓力變送器是精準獲取高純氣體壓力信息的有力儀表,對需要保障供氣系統安全、穩定、無污染且滿足工藝制成要求的用戶來說,是理想的選擇。

    應用挑戰:

    1、現場環境惡劣,對儀表穩定性要求高;

    2、工況復雜,現場儀表的測量精度要求高;

    3、保障供氣系統安全、穩定、無污染且滿足工藝制成。

    解決方案優勢:

    1、產品密封性高,氦氣泄漏率: ≤ 1 x 10-10MPa I/ sec(atm STD cc/sec),符合SEMIF1;

    2、潔凈度高,生產地點:百級清潔車間;表面處理:電拋光,符合SEMI F19;表面光潔度:典型值≤0.13μm 最大值≤ 0.18 μ;

    3、耐腐性好,材質316L VAR,符合 SEMI F20 標準;

    4、長期穩定性好,長期穩定性±0.25%FS/年,高EMC防護等級,零點可調;

    5,結構特點,緊湊精小,適用于狹小空間

    高純氣體專用儀表
    新聞與活動
    相關行業應用
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